V-02 / INSPECTION

Semivue

AOIとAIを組み合わせ、半導体ワイヤーボンディング工程のフレーム、IC、部品、ワイヤー、接合部を2D・3Dで外観検査します。

  • ワイヤーボンディング
  • 2D / 3D
  • 欠陥分類
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検査対象と欠陥種類

可視光でフレーム、部品、銅線・アルミ線・金線、接合部を検査し、異物、亀裂、銀ペースト不足、ワイヤーの曲がり・短絡・断線・交差、接合位置・形状の異常を検出します。

検査対象と不良モードの明細

表は左右にスクロールできます

検査対象と不良モードの明細
分類/検査部位検査する不良モード
IC亀裂、割れ、異物付着、搭載位置ずれ
コンデンサ亀裂、異物付着、搭載位置ずれ
銀めっき銀めっきのむら
フレーム異物付着
ワイヤーボンディング/ワイヤーワイヤー曲がり、短絡、断線、ワイヤー交差、ワイヤー厚さ、圧痕
ワイヤーボンディング/第1ボンド有無、位置ずれ、形状異常、異物付着
ワイヤーボンディング/第2ボンド有無、位置ずれ、形状異常、浮き(Y方向ずれ)、異物付着

欠陥分析と検査方式

欠陥を種類、形状、面積、位置別に分類・集計します。モジュール構成により2D・3D検査に対応し、インライン検査と検査室でのオフライン検査の両方を行えます。

2D/3D 技術仕様

表は左右にスクロールできます

2D/3D 技術仕様
技術仕様2D3D
視野7 mm × 5.6 mm9 mm × 5.6 mm
画素分解能2.3μ/Pixel5μ/Pixel
作動距離96 mm131 mm
検査タクト2 s/視野5–8 s/視野
NEXT STEP

まず、現場課題を明確にすることから。

現行プロセス、制約、期待する成果をお聞かせください。検証可能な最小範囲から評価します。

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