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产品 GENSTAR / 3D

共焦 3D 表面测量系统

采用色差共焦测量，检查表面台阶、凸起、划伤与膜厚。

共焦 3D 表面测量系统 — 共焦 3D 表面测量系统 · GENSTAR

PRODUCT OVERVIEW

产品概览

应用场景: 精密元件外观检测
检测技术: 3D 外观检测

检测对象

精密表面
反光元件

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01 / INSPECTION

检测与测量项目

高度与表面形貌
台阶与膜厚测量

02 / METHOD

技术与检测方式

利用色差共焦传感器与扫描平台采集表面高度信息。

配置与检测范围按样品、视野和产线要求确认。

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