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製品 GENSTAR / 3D
色収差共焦点方式で、段差、突起、キズ、膜厚を測定します。
PRODUCT OVERVIEW
01 / INSPECTION
02 / METHOD
色収差共焦点センサーと走査ステージで表面の高さ情報を取得します。
サンプル、視野、生産条件に応じて構成と検査範囲を確認します。
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